【新技術】京セラ、多層セラミックを使ったプラズマ発生用の電極基板開発

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電極をセラミックで覆ったことにより、発生させたプラズマの均一性と電極の寿命を大幅に伸ばした。この電極を使いオゾン発生装置を試作、自動車排気ガスの改質や、すすの分解などの用途開発を進めているという。

?【CEATEC】長寿命と高均一性を実現,京セラが多層セラミックのプラズマ発生用電極基板(Tech on)

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